如何正确选择不同功能的扫描电镜？扫描电镜选型指南

扫描电子显微镜广泛应用于材料科学、生物学、纳米技术、半导体制造等领域，为研究人员提供了观察和分析微观结构和表面形貌的有效工具。

针对不同领域和样品需求，应该如何选择不同功能的扫描电镜呢？

我们对已有的不同功能的扫描电镜进行了盘点：

系列 1 场发射扫描电镜

肖特基场发射扫描电镜（Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope，Schottky FE-SEM）是一种采用肖特基场发射电子源的高分辨率扫描电子显微镜，可以提供更高的电子束亮度和稳定性，用于观察微观结构和表面形貌。

第二代场发射扫描电镜，台式设计，防震，在台式机身上获得接近大型场发射的性能。优秀的低电压成像能力，可减轻电子束对样品的损伤和穿透，较大程度还原样品的真实形貌。延续电镜能谱一体化设计，升级的快速面扫可以即时显示所选元素的分布情况，实时能谱分析功能大幅提升了检测效率。

特点

·  肖特基场发射电子枪

·  分辨率最高的台式电镜

·  良好的低电压成像

·  电镜能谱一体化设计

·  操作简单

·  内置磁屏蔽和减震系统，可放置于任意楼层

SEM-STEM 电子显微镜

2023 年推出台式场发射 SEM-STEM 电子显微镜，在较低的加速电压下，减少了电子束对样品的损伤，显著提高了图像的衬度。在台式扫描电镜下即可快速获得高分辨的 BF 像、DF 像、HAADF 像，且支持用户自定义成像。Pharos STEM 样品杯为材料领域的研究提供了高效、全面的表征方式。

系列 2 CeB6 灯丝扫描电镜

CeB6（铈六硼化物）灯丝扫描电镜是一种采用CeB6作为电子发射源的扫描电子显微镜。CeB6灯丝具有良好的发射性能和长寿命，可提供稳定的电子束，用于高分辨率的表面成像和样品分析。

特点

·  高亮度、低色差 CeB6 灯丝，使用时长不低于 1500h

·  无需喷金

·  "全面屏"操作界面

· 不受震动、磁场等环境因素干扰

系列 3 全自动扫描电镜

全自动扫描电镜以扫描电镜和能谱仪为基础，结合自动控制系统以及强大的数据库系统，可以全自动对杂质颗粒进行快速识别、分析和分类统计，为客户的研发以及生产提供快速、准确和可靠的定量数据支持。

特点

·  颗粒粒度分布

·  颗粒形貌分析

·  杂质成分检测

·  高分辨率成像

系列 4 自动化专用扫描电镜

在枪击残留物（GSR）的分析发挥着重要的作用。GSR 分析技术首先基于扫描电子显微镜（SEM）的背散射成像，用来扫描样品和发现 “可疑" 的 GSR 颗粒。一旦发现可疑的颗粒，使用能谱（EDS）识别该颗粒的元素。常见的搜索元素为 Pb，Sb 和 Ba。无铅底火的检测，例如 Ti 和 Zn 也可作为搜索条件进行搜索。

DiatomAI™ 利用人工智能的技术，赋能法医硅藻检验系统，配合 DiatomScope™ ，实现了扫描和检测的全自动化。它是目前市面上可靠、高效、自动化程度高的硅藻检测解决方案，帮助法医在检测过程中实现硅藻的全自动检测，识别过程全程无需人工参与。大大缩短了检测时间，提升工作效率。

扫描电镜样品制备

1.制样简单  无需喷金即可观察不导电样品

2.扫描电镜制样设备

SEMPrep2 作为新一代的高精密氩离子研磨系统，可以满足研究人员苛刻的研磨需求。集成式多功能截面抛削以及无损平面抛光系统，为 SEM 以及 EBSD 用户提供制样助力。